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压力传感器的过载保护措施
时间: 2020-05-23 10:07:35 浏览次数:
压力传感器有许多参数,其中一个是过载保护。过载是指负荷过大,超过设备本身的额定负荷。现象是电流太大,电气设备发热。过载保护是指即使负荷超过额定负荷也不会出现线路烧毁的情况,但有某一程度,一般在150%的范围内,且不能继续过载工作。
目前,小量程、高灵敏度压力传感器的研究热点集中在具有牺牲层结构的压力传感器上。这主要是因为具有牺牲层结构的压力传感器弹性膜片很薄,厚度可以达到2米,甚至更薄。在这种薄膜结构上,如果扩散硅压力传感器或多晶硅薄膜作为牺牲层结构的应变电阻,其厚度相对较大,对膜片的弹性应力分布有很大影响,不利于压力传感器牺牲层结构的性能优化,因此多晶硅纳米薄膜的制备应变电阻更能发挥牺牲层技术的优势。
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